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チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)

データ種別 図書

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1階中央図書
549.7/Ts 34 96106389
4320085116
図書

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出版者 東京 : 共立出版
出版年 1990.4
大きさ v, 117p ; 19cm
一般注記 文献: p[110]-113
著者標目  津田, 穣(1935-) <ツダ, ミノル>
件 名 NDLSH:集積回路
BSH:集積回路
BSH:工業材料
BSH:薄膜
NDLSH:感光性樹脂
分 類 NDC8:549.7
NDC8:578.4
NDC7:549.8
NDLC:PA441
書誌ID B000053384
本文言語 日本語
ISBN 4320085116
NCID BN04656779
目次/あらすじ

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