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ビサイ カコウ ト レジスト
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)

データ種別 図書

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1階中央図書
578/Ko 14/3 90110199
4320042271
図書

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出版者 東京 : 共立出版
出版年 1987.11
大きさ iv, 99p ; 19cm
著者標目  野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件 名 NDLSH:集積回路
BSH:集積回路
NDLSH:電子光学
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
書誌ID B000112185
本文言語 日本語
ISBN 4320042271
NCID BN01734322
目次/あらすじ

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